1.針對工藝快速擴散系統中的擴散工藝路線決策問題,提出了擴散工藝路線優選模型。
2.這為改進激光誘導擴散工藝,用多次曝光實現面均勻的雜質濃度分布奠定了理論基礎。
3.提升溫度擴散工藝被稱為燒結,有時還輔之以外界的壓力來達到目的。
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